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产品名称:压电物镜定位器

产品型号:XD730.400S/K-B1

产品报价:

产品特点:压电物镜定位器,是一款 Z 向运动的物镜 驱动平台,它的行程大且承载能力达 0.5kg,非 常适于静态定位应用。

更新日期:2023-08-22

XD730.400S/K-B1压电物镜定位器的详细资料:

压电物镜定位器 产品特点

 Z 向运动

 大行程范围

 承载达 0.5kg

 可选配闭环传感器

位移与电压曲线

线性度曲线

产品应用

 聚焦显微

 激光加工

 Z 向定位与扫描

 表面结构分析

    技术参数

型号

XD730.400S-B1

XD730.400K-B1

单位

运动方向

Z

Z


标称行程范围(0~120V)

400

400

μm±10%

行程范围(0~150V)

500

500

 μm±10%

传感器类型

SGS

-


分辨率

14

4

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

空载谐振频率

150

150

Hz±20%

静电容量

28.8

28.8

μF±10%

承载能力

0.5

0.5

kg

重量

520

520

g±5%

台体材料

铝、钢

铝、钢


      注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

压电物镜定位器

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