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产品名称:P72系列压电物镜定位器

产品型号:

产品报价:

产品特点:P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦 稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

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P72系列压电物镜定位器的详细资料:

  P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦 稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

特点:

• 最大行程110μm

• 最大承载0.2kg

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高 • 开环/闭环可选

螺纹适配器便于安装

    P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。

典型应用

• 三维成像 • 干涉/计量

• 表面结构分析 • 共焦显微

• 生物科技 • 半导体测试

体积小巧、易于集成、高动态、直线性好

   P72压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑,可实现最 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选,易于与其 他光学显微镜等集成。

   台体采用柔性铰链机构,无摩擦且具有极高的分辨 率。由于其空载谐振频率可达350Hz,且可带载200g负载 作高速精密运动,在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。

   可选择闭环版本,实现超高的定位精度。

频率负载曲线 推荐控制器

E00/E01

XE-709

E53

页码 157

页码 166

页码 171

 

 

 

 

 

 

 

1路输出

1路输出

1路输出

上位机通信、模拟、旋钮

模拟、上位机通信

模拟、上位机通信

开环/闭环

开环/闭环

开环/闭环

平均功率7W/35W

平均功率15W

平均功率10W

 

P72系列压电物镜定位器技术参数:

 

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P72.Z100S P72.Z100K

 

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

110

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

5/2.5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S.

推/拉力

110/15

N

运动方向刚度

1.4

N/μm±20%

空载谐振频率

350

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/3

ms±20%

 

闭环空载工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

15

最大承载

0.2

kg

静电容量

3.6

μF±20%

材质

 

重量

150

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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