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产品名称:超低温真空无磁压电扫描台

产品型号:XD106.XYZ60K

产品报价:

产品特点:超低温真空无磁压电扫描台,是一款三维运动压电平台,它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计

更新日期:2023-08-16

XD106.XYZ60K超低温真空无磁压电扫描台的详细资料:

超低温真空无磁压电扫描台

由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台,它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计,可进行XYZ三维扫描运动,采用低温压电驱动,耐低温可达4K,它的体积小巧,尺寸仅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外壳采用轻型耐低温、无磁材料,采用低温双绞线,以适应低温环境下的使用。


超低温真空无磁压电扫描台产品特点

· 低温真空无磁,耐低温可达4K

· XYZ三维运动

· 4K温度下位移达30μm/轴

· 分辨率可达2nm

· 开环运动控制

· 响应速度快


产品应用

· 半导体加工


· 半导体检测

· 高精密测试和操作

· 其他真空无磁要求的纳米运动控制等


技术参数


型号
XD106.XYZ60K
运动自由度
X、Y、Z
驱动电压
0~60V@常温
0~150V@低温4K
标称行程范围(常温)
70μm/轴
@0~60V,常温
标称行程范围(低温)
30μm/轴
@0~150V,4K温度
中心通孔直径
10mm
分辨率
2nm
空载谐振频率
X415/Y465/Z497Hz
带载200g谐振频率
XY105/Z229Hz
静电容量
XY5.4μF,Z10.9μF
材质
承载能力
200g
重量
220g
使用方向
倒置使用
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