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产品名称:N20/P21压电偏摆/旋转台

产品型号:

产品报价:

产品特点:N20/P21压电偏摆/旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,最大旋转角度8.5mrad,承载能力达2kg,可带动镜片做精密旋转运动。

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N20/P21压电偏摆/旋转台的详细资料:

   N20/P21压电偏摆/旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,最大旋转角度8.5mrad,承载能力达2kg,可带动镜片做精密旋转运动。

特性:

• θz旋转

 最大旋转角度8.5mrad

 闭环定位精度高

 响应速度快

 体积小巧

典型应用

 光路调整  干涉

 光束扫描  计量

应用实例

   P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用, 组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。 

小体积、高分辨率、高精度

     P21θz一维旋转台采用机构放大设计原理,可以实 现最大8.5mrad的旋转,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅 为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。

    采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机 构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内 置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精 度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

驱动控制方式

   P21为θz一维压电旋转台,单通道压电控制器即可驱动控制,闭 环版本P21配套E01系列闭环控制器,实现θz高精度旋转定位控制。

N20/P21压电偏摆/旋转台技术参数:

 

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P21.R7S P21.R7K

 

单位

运动自由度

θz

 

标称旋转角度 (0~+120V)

6

mrad±20%

最大旋转角度 (-20~+150V)

8.5

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

0.4/0.2

μrad

闭环线性度

0.5/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2/-

%F.S.

推/拉力

10/5

N

运动方向刚度

1

N/μm±20%

空载谐振频率

1.1

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/1.5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

15

最大承载

2

kg

静电容量

1.8

μF±20%

材质

 

重量

105

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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