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产品名称:S22系列压电偏转镜

产品型号:

产品报价:

产品特点:P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率 和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及 振动消除)及光学和样品的静态定位。

更新日期:2021-10-15

S22系列压电偏转镜的详细资料:

S22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率 和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及 振动消除)及光学和样品的静态定位。

特性:

• θx一维偏转 • 大偏转角度4mrad • 亚毫秒响应时间 • 闭环定位精度高

典型应用

• 图像处理与稳定 • 隔行扫描、抖动

• 激光扫描 • 光束偏转

• 光学滤波器/开关

结构原理

小体积、高动态、开环闭环可选平台由一个铰链支撑,并且由一个线性压电促动器推动。铰 链确定了轴心点,兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个 铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高 等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大,推荐使用差分 驱动压电偏转镜。

  压电驱动俯仰/偏转台(快反镜/倾斜镜,光束偏转,相移 器)提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽,θx轴偏转范围 为4mrad,偏转分辨率达0.1μrad,开环闭环可选,闭环传感器 包括应变传感器及电容传感器,可获得更高的定位精度。

超小体积设计,具有非常快的响应速度,可带载Ø15mm的 镜片实现0.8ms的阶跃时间。


S22系列压电偏转镜技术参数:


型号


尾缀S-闭环 尾缀K-开环


S22.U3S S22.U3K


单位

运动自由度

θx


标称行程范围(0~120V)

2.5

mrad±20%

大行程范围(-20~150V)

4

mrad±20%

传感器类型

SGS/-


闭/开环分辨率

0.3/0.1

μrad

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.15/-

%F.S.

空载谐振频率

3

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

3/0.8

ms±20%


闭环空载 工作频率

10%行程

100


Hz±20%

行程

40

静电容量

1.8

μF±20%

材质


重量

80

g±5%


以上参数是采用E00系列压电控制器测得。


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