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产品名称:P51压电偏摆/旋转台

产品型号:

产品报价:

产品特点:P51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

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P51压电偏摆/旋转台的详细资料:

   P51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特性:

  θx, θy 偏摆运动,Z向升降  闭环定位精度高  响应速度快  透光孔:80×80mm

典型应用

• 扫描显微 • 激光合束对准与激光致盲

• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统

• 生物技术 • 掩模与晶片位置调整

仿真分析
 

   通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度,并减少角度偏差。铰链部分允许 极高精度的运动,因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高

  P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台,偏转 行程为±1.1mrad,Z轴直线行程可达110μm。P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构,采用 有限元分析进行优化,具有超高的刚度以及导向精度。可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈,确保其 具有极佳的运动控制精度,直线运动分辨率可达到亚纳米 级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。  

超薄的设计适用于显微应用

   P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应 用设计的,台体非常薄,厚度仅为20mm,非常易于集成到高精度显 微镜中。

P51压电偏摆/旋转台技术参数:

 

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P51.ZT1S P51.ZT1K

 

单位

运动自由度

θx, θy, Z

 

标称直线行程范围(0~+120V)

80

μm±20%

最大直线行程范围(-20~+150V)

110

μm±20%

标称偏摆角度 (0~+120V)

±0.9/ 

mrad±20%

最大偏摆角度 (-20~+150V)

±1.1/ 

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环Z向位移分辨率

7/4

nm

闭/开环θx, θy偏摆分辨率

0.25/0.05

μrad

闭环线性度

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S.

推/拉力

120/15

N

运动方向刚度(Z向)

1.5

N/μm±20%

空载谐振频率

230

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/4.5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

15

最大承载

1

kg

静电容量

3.6/ 

μF±20%

材质

铝、钢

 

重量

820

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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