S54压电偏摆/旋转台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特性：

•  θx, θy偏摆运动 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄

典型应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲

• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统

• 微操作 • 掩模与晶片位置调整

应用实例
   S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光等领域。

闭环传感精度高

S54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限 元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。

采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围±1.1mrad，分 辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S. 的重复定位精度。

台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为 80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、 计量、定位等应用的选择。

负载大镜片
S54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透 射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。

S54压电偏摆/旋转台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。