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P18系列压电扫描台有哪些参数

为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ最大370μm 的高速扫描,最大通光孔径为Ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。

特性:

• 最大位移370μm

• 最大承载3.5kg

• 通孔直径:Ø35mm

1~3维扫描台

    P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

典型应用

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

• 图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

大位移、大承载、高刚度、高频响

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