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微纳操作系统中的微动压电钳

作为微纳操作系统中的一个末端执行机构,微动夹钳主要完成微小尺寸样品的夹取、搬运、放置与释放。压电钳通过传动机构,将电压转化为钳口的位移输出,通过钳口闭合实现微操作对象的夹持,张开实现微操作对象的释放。

芯明天研发生产的微动压电钳是由压电陶瓷叠堆驱动,采用柔性铰链机械放大结构,具有分辨率高、响应速度快、无摩擦等特点。夹持位移可达100微米,是微纳操作系统中必不可少的执行器件。

特点

• 夹持位移达100μm

 亚毫秒级响应时间

 谐振频率达1.5kHz

技术参数

型号XD002-D2

运动自由度X

行程范围(0~120V)80μm

行程范围(0~150V)100μm

推/拉力10/1N

运动方向刚度0.04N/μm

空载谐振频率1500Hz

空载阶跃时间0.7ms

空载满行程工作频率300Hz

最大承载0.05kg

静电容量0.18μF

材质不锈钢

重量10g

驱动控制

E53.A压电控制器非常适合驱动XD-002系列微动压电钳,即可保证快速的响应时间,又可保证压电的工作稳定性。同时E53系列压电控制器的外形非常紧凑,体积小巧,易于集成。

定制版压电钳

夹持行程500μm@150V

静电容量1.6μF

空载谐振频率:180Hz

材质:钛合金

夹持行程1000μm@150V

静电容量3.4μF

空载谐振频率110Hz

材质钛合金

夹持行程1000μm@150V

静电容量3.6μF

空载谐振频率90Hz

重复定位精度0.5%F.S.

位移传感器

材质钛合金

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