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P18.XY300压电扫描台典型应用领域

图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

应用实例-纳米光刻

 在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

特性

• 最大位移370μm

• 最大承载3.5kg

• 通孔直径:Ø35mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

1~3维扫描台

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

大位移、大承载、高刚度、高频响

        P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以 实现最大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。

        P18采用独特的结构设计,具有大刚度、大出力、大承 载等特点,最大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms,是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。

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