P84系列压电千分尺是宏动手动调节千分尺与电动调节压电驱动机构相结合的运动平台。它的宏动手调范围为13mm，压电驱动调节范围为100μm。精调精度可达4nm。

特点

• X向运动，1~3维运动可选

• 手调千分尺行程 13mm，分辨率达 10µm

• 压电精调行程 100µm，分辨率达4nm

• 压电调节可选配传感器

技术参数

型号：P84.X100S
运动自由度：X      

行程范围（粗调+精调）：13mm+100μm

壳体材料：钢、铝

粗调行程范围：13mm

粗调分辨率：10μm

粗调驱动方式：螺纹副（分厘卡）    

粗调灵敏度：<2μm

粗调读数：10微米/格

螺距：0.5mm/rev.

精调行程范围@120V：80μm

精调行程范围@150V：100μm

精调传感器类型：SGS

精调步进（分辨率）：7 nm, typ.

精调闭环线性度：0.1%F.S.

精调重复定位精度：0.05%F.S.

精调运动方向推力：16N

精调运动方向的刚度：1N/μm

承载能力（Z向）：500g

工作温度范围：-20~80°C

静电容量：1.8μF

出线长：1.5m

传感/电压连接器：LEMO

应用举例-挤压/厚度检测

对于厚度检测应用，压电千分尺的粗调已逐渐不能满足测量的要求，特别是对于待测厚度非常薄，达微米甚至纳米时，千分尺的步进调节就达不到精度要求。因此，在千分尺上集成压电驱动机构，可显著提高步进调节精度，可达纳米甚至亚纳米级。

可选配移动台面

对于负载需要额外平台来带载的应用，可选配移动台面，标准尺寸为65×65mm，台面具有M4及M6螺纹孔，可供固定负载使用。