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产品名称:闭环三维压电螺钉运动平台

产品型号:XYZ65N81E26

产品报价:

产品特点:闭环三维压电螺钉运动平台,该平台配备了增量式编码器,对运动行程、精度等可进行精确控制,且精度可达1.5μm。

更新日期:2023-02-09

XYZ65N81E26闭环三维压电螺钉运动平台的详细资料:

闭环三维压电螺钉运动平台 特点:


XYZ三维运动
配有闭环增量式编码器
行程±12.5mm/轴
纳米级分辨率
精度达1.5μm

运动原理:XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是采用压电螺钉驱动,压电螺钉的运动是通过内部压电陶瓷的微运动,驱动螺纹杆旋转,从而沿着螺纹向前运动。螺纹杆的推动,使得载物移动平台台面的直线运动。


图片

闭环三维压电螺钉运动平台 技术参数:

产品设计的参数如下表所示。


型号
XYZ65N81E26
运动自由度
X
集成传感器类型
增量式编码器
标称行程范围
±12.5mm
速度
50μm/s
闭/开环分辨率
80nm
线性度
1.5μm
重复度
1.5μm
承载能力
1.5kg
工作温度
0~50℃
质量(包含电缆)
2.61kg
材质
铝、钢
电缆长度
1.5m
推荐控制器
E53.D1E



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