产品名称:P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格
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产品特点:P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格 P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
更新日期:2021-09-08
P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格 P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
特性 P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格
• 1~3维自由组合 • 位移行程6.8μm • 亚毫秒响应时间 • 承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级
小体积、高精度、响应速度快 | 传感器类型 | 频率负载曲线 | |
P63系列压电纳米定位台重要的特点是精密且体积小巧,P63.Z一维的尺寸仅为30×30×24mm(X轴尺寸为30×30×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。 P63系列纳米定位台是高精密纳米定位系统,是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。 |
应用 • 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制 应用实例:纳米切削 P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。 |
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