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产品名称:P66A.X30压电纳米定位台

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产品特点:P66A.X30压电纳米定位台,为一维×向运动压电平台,可进行38um范围内的纳米级位置调整。

更新日期:2023-11-11

P66A.X30压电纳米定位台的详细资料:

P66A.X30压电纳米定位台

P66A.X30压电纳米定位台

技术参数
机构型号位移[μm]分辨率[nm]谐振频率[kHz]承载[kg]
X轴直驱机构P63.X780.120.8
直驱机构P63.X18-D1180.320.5
直驱机构P66.X30300.758
直驱机构P66.X60600.81.36
直驱机构P66A.X3039520.1
直驱机构XP-630.X150.13.25
直驱机构XP-631.X300.22.45
直驱机构XP-633.X600.31.55
放大机构P60.X250±16550.490.6
放大机构N60.X30340.51.80.5
放大机构XP-611.X10010040.280.8
放大机构P11.X10011040.30.8
放大机构N60.X30300.51.80.5
Z轴直驱机构P63.Z76.80.12.50.8
直驱机构P63.Z8-D180.310.5
放大机构P11.Z10010040.70.8
放大机构P11.Z20020040.180.5
放大机构P11.Z30030050.120.4
放大机构P60.Z25025030.261
放大机构P60.Z50050050.292
放大机构P66.Z30301.411
放大机构XP-611.Z10010040.281.2
放大机构P80.Z10011030.40.8


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