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产品名称:XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm

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产品特点:XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm
XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

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XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm的详细资料:

XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μmXP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm

  特性   

     • 最大行程60μm                   • 亚毫秒响应时间                   • 最大承载10kg                   • 1~3维自由组合                   • 重复定位精度可达0.05%F.S.                  

1~3维平移   

  产品外观   

  直驱机构式驱动示意图   

XP-62X系列压电纳米定位台可通过转接板连接, 组成XY,XZ,XYZ多种运动结构。

多种规格型号可选。

柔性铰链采用精密线切割技术。

 

  大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性   

  传感器类型   

  频率负载曲线   

 

XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机构,优异的柔性铰链设计,具有高刚度、高频响等特点,刚度可达40N/μm,空载谐振频率高达4.2kHz,适用于需要大负载、高频率需求的应用,如电化学加工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压电陶瓷,平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机构,无磨损、免维护,提供极高的稳定性。该产品易于与其他宏动台产品集成配套,实现更大行程的精密定位。

 

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