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产品名称:P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm

产品型号:

产品报价:

产品特点:P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用,如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。

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P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm的详细资料:

 

  特性  P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm

  应用  

                  • 光盘驱动测试  开闭环版本可选  

   传感器使用全桥配置已消除热漂移,使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。

 

  P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm

 

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P66.X60S

P66.X60K

单位

运动自由度

X

X

 

行程(0~120V)

48

48

μm±20%

行程(0~150V)

48

48

μm±20%

传感器类型

SGS

-

 

闭/开环分辨率

2

0.8

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

<20

µrad

推/拉力

160/16

160/16

N

运动方向刚度

2.8

2.8

N/μm±20%

空载谐振频率

1.3

1.3

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10

1.6

ms±20%

闭环空载

工作频率

10%行程

200

200

Hz±20%

100%行程

20

20

最大承载

6

6

kg

静电容量

7.2

7.2

μF±20%

材质

 

重量

190

190

g±5%

哈尔滨芯明天科技有限公司是专注于压电纳米运动与控制系统的研发、生产和销售的高新技术企业,提供基于压电陶瓷微位移技术的微米级行程、纳米级定位精度的直线运动产品,毫弧度级偏转角度、纳弧度级偏转精度的角度运动产品与配套运动控制产品以及相关解决方案,是中国压电纳米定位行业开发、创新、开拓的先锋。

 

 芯明天公司主要服务于高端精密制造、检测设备的生产制造企业以及实验、科研型的高校院所。经过近20年的快速发展,芯明天的客户已覆盖全国各地,并远销欧、美、日、韩等地。公司与众多国内外高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为国际化的压电精密定位产品生产厂商。

 

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