产品名称：P32系列Z向/俯仰/偏转镜
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产品特点：P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现大6mrad偏转，Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度，响应时间可达毫秒量级。
更新日期：2021-09-08
P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现大6mrad偏转，Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度，响应时间可达毫秒量级。
工作原理
P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的，由三支压 电陶瓷驱动，以120°角平分放置，采用坐标变换，运动可以分不 同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜，也可实 现平台Z向的直线移动，可以用于校正光学路径长度。其中， A、B、C表示测量的3点处位移量，两轴摆角及Z向位移的简便计 算公式分别如下，
典型应用
• 图像处理与稳定 • 光学捕获
• 激光扫描与光束偏转 • 激光调谐
• 光过滤/光开关 • 光学/光束稳定
负载频率曲线 推荐控制器
E01 | E00 | E70 |
页码 157 | 页码 157 | 页码 167 |
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3路输出（1路恒压） | 3路输出（1路恒压） | 3路输出（1路恒压） |
模拟、上位机通信、旋钮 | 模拟、上位机通信、旋钮 | 模拟与数字控制 |
开环闭环 | 开环闭环 | 开环闭环 |
平均功率7W | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 |
高分辨率、高稳定性及动态性
P32压电偏转镜体积紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电 促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电 促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，比传统的压电促动器提供更好的性 能及可靠性。
P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架 结构，数十亿次的运动周期操作而*或性能下降，非常适合 工业应用。
三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定 性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、 更快的响应速度及更好的线性度等优势，也防止了偏振旋转。
特性：
• θx, θy偏转，Z轴升降 • 大偏转范围6mrad • 毫秒级响应时间
• 闭环定位精度高
• 温度稳定性高
P32系列Z向/俯仰/偏转镜技术参数
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P32.ZT4S P32.ZT4K | 单位 |
运动自由度 | θx, θy, Z | ||
θx, θy标称偏转角度（0~120V） | 5 | mrad±20% | |
Z向标称行程（0~120V） | 30 | μm±20% | |
θx, θy大偏转角度（-20~150V） | 6 | mrad±20% | |
Z向大行程（-20~150V） | 40 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环θx, θy偏转分辨率 | 0.1/0.05 | μrad | |
闭/开环Z向直线分辨率 | 1/0.5 | nm | |
闭环线性度 | 0.05/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
空载谐振频率（θx, θy） | 2 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 5/2 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 500 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
静电容量 | 3.6/轴 | μF±20% | |
材质 | 钢 | ||
重量 | 350 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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