P32三维θxθyZ向压电偏转镜 6mrad 37.5μm压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度，响应时间可达毫秒量级。P32系列压电偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现6mrad偏转，Z轴37.5μm的直线运动。

特性 P32三维θxθyZ向压电偏转镜 6mrad 37.5μm

• θx,θy二维偏转及Z向升降运动，偏转角度25mrad，直线位移37.5μm        • 闭环定位精度高         • 分辨率高        • 温度稳定性高         • 亚毫秒响应时间

驱动控制

P32压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，与Z向升降运动配合，再通过控制电压的大小，对一定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。