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产品名称:P32系列压电偏转镜

产品型号:

产品报价:

产品特点:P32系列压电偏转镜Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度,响应时间可达毫秒量级。P32压电偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。

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P32系列压电偏转镜的详细资料:

   P32系列压电偏转镜Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度,响应时间可达毫秒量级。P32系列压电偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。

特性:

•  θx, θy偏转,Z轴升降 • 最大偏转范围6mrad • 毫秒级响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

工作原理

   P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的,由三支压 电陶瓷驱动,以120°角平分放置,采用坐标变换,运动可以分不 同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜,也可实 现平台Z向的直线移动,可以用于校正光学路径长度。其中, A、B、C表示测量的3点处位移量,两轴摆角及Z向位移的简便计 算公式分别如下,

典型应用

• 图像处理与稳定 • 光学捕获

• 激光扫描与光束偏转 • 激光调谐

• 光过滤/光开关 • 光学/光束稳定

高分辨率、高稳定性及动态性

    P32压电偏转镜体积紧凑,内部装配带有预紧的高可靠性压电 促动器,集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电 促动器是叠堆共烧型压电陶瓷,比传统的压电促动器提供更好的性 能及可靠性。

   P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架 结构,数十亿次的运动周期操作而没有故障或性能下降,非常适合 工业应用。

   三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定 性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、 更快的响应速度及更好的线性度等优势,也防止了偏振旋转。

负载频率曲线 推荐控制器

E01

E00

E70

页码 157

页码 157

页码 167

 

 

 

 

 

3路输出(1路恒压)

3路输出(1路恒压)

3路输出(1路恒压)

模拟、上位机通信、旋钮

模拟、上位机通信、旋钮

模拟与数字控制

开环闭环

开环闭环

开环闭环

平均功率7W

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

 

技术参数

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P32.ZT4S P32.ZT4K

 

单位

运动自由度

θx, θy, Z

 

θx, θy标称偏转角度(0~120V)

5

mrad±20%

Z向标称行程(0~120V)

30

μm±20%

θx, θy最大偏转角度(-20~150V)

6

mrad±20%

Z向最大行程(-20~150V)

40

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环θx, θy偏转分辨率

0.1/0.05

μrad

闭/开环Z向直线分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.05/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

%F.S.

空载谐振频率(θx, θy)

2

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

500

 

Hz±20%

100%行程

40

静电容量

3.6/轴

μF±20%

材质

 

重量

350

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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