欢迎来哈尔滨芯明天科技有限公司!我们将为您提供到位的服务!销售热线:0451-86268790 17051647888
联系我们Contact us
公司名称:哈尔滨芯明天科技有限公司
联系人:杨先生
固话:0451-86268790
手机:17051647888
地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园T2栋1层
首页 > 产品中心 > 压电偏摆/旋转台系列 > 三维θxθyZ向压电偏摆台 > 芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台

产品名称:芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台

产品型号:P51系列

产品报价:

产品特点:芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台 三维θxθyZ向压电偏摆台P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

免费咨询:0451-86268790

发邮件给我们:ymy@coremorrow.com

分享到:

P51系列芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台的详细资料:

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台特性:

 • ±1.1mrad/轴的θx, θy偏摆运动及Z向110μm直线运动                 • 闭环定位精度高                    

 • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 响应速度快

 

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台外观形状

外观形状  

   产品运动示意图  

  闭环曲线  

 

  闭环传感精度高  

   频率负载曲线  

   仿真分析  

P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台,偏转行程为±1.1mrad,Z轴直线行程可达110μm。

P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构,采用有限元分析进行优化,具有超高的刚度以及导向精度。

可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈,确保其具有良好的运动控制精度,直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上zui高的刚度,并减少角度偏差。铰链部分允许极高精度的运动,因为铰链机构无间隙、无摩擦。

 

  超薄的设计适用于显微应用且可负载大镜片  

  产品测试  

 

P51压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,非常适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的,台体非常薄,厚度仅为20mm,非常易于集成到高精度显微镜中。

校准调测

震动实验

 

3.三维θxθyZ向压电偏摆台

驱动方式  

P51压电偏转台θxθy两轴采用90相差输入,并配合Z轴升降运动,再通过控制电压的大小,对于固定的光路距离,可进行一定范围的锥形范围扫描,如下右图所示。

 

  应用  

       • 光束扫描  • 激光合束对准与激光致盲   • 干涉/计量  • 空间扰动模拟系统  • 光路调整  • 掩模与晶片位置调整  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜  • 掩模/晶圆定位  • 生物技术  • 表面结构分析

 相关同类产品:

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
全国统一客服电话:

17051647888

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园T2栋1层
联系人:杨先生
手机号码:17051647888
固定电话:0451-86268790

哈尔滨芯明天科技有限公司专业提供P51系列芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台等产品信息,欢迎来电咨询!

哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有  ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网  网站地图

扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站