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产品名称:芯明天二维θxθy向压电偏摆台

产品型号:P54

产品报价:

产品特点:芯明天二维θxθy向压电偏摆台 P54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

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P54芯明天二维θxθy向压电偏摆台的详细资料:

1.芯明天二维θxθy向压电偏摆台

特性  

• θx, θy偏摆运动,zui大偏转角度±1.1mrad/轴        • 开环/闭环可选择      • 80×80mm大通孔                  

• 分辨率高                 • 外形超薄

 

2.芯明天二维θxθy向压电偏摆台

外观形状  

   产品运动示意图  

  闭环曲线  

 

  闭环传感精度高  

   频率负载曲线  

   应用实例-激光合束/军事激光武器  

P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使角度偏移达到zui小,无空回、无摩擦。

采用压电陶瓷驱动实现zui大偏转范围±1.1mrad,分辨率高达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。

台体非常薄,厚度仅为20mm,中心通孔尺寸为80×80mm,P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的选择。

P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光武器等领域。

 

  负载大镜片  

  驱动方式  

 

P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,非常适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

校准调测

震动实验

 

  3.二维θxθy向压电偏摆台驱动方式  

P54压电偏转台θxθy两轴采用90相差输入,通过控制电压的大小,对不同的光路距离,可进行一定范围的圆形范围扫描,如下右图所示。

 

  应用  

       • 光束扫描  • 激光合束对准与激光致盲   • 干涉/计量  • 空间扰动模拟系统  • 光路调整  • 掩模与晶片位置调整  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜  • 掩模/晶圆定位  • 生物技术  • 表面结构分析

 

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