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压电移相器在干涉测量中的应用

更新时间: 2022-10-24

  压电移相器是基于压电陶瓷设计并通过驱动压电陶瓷产生微运动来实现移相功能的,在电压信号的控制下产生纳米级步进运动,完成干涉中要求的微小移相运动。
 
  压电移相器由两部分组成,压电陶瓷驱动与手调微动螺钉。为保证对位移的高分辨率要求,压电陶瓷移相器采用压电陶瓷直驱技术结构,确保陶瓷的高分辨率可以直接输出,而不受外部机械结构的影响。手调微动螺钉则采用高精螺丝和衬套,保证了手动调节的精度。
 
  移相干涉技术是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术,其中核心部件为移相器,一般常用微位移运动器件驱动实现。压电式移相器,以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中,并被广泛地应用于各个领域。
 
  压电式移相器是由压电控制器所驱动,它所能移动的位移与压电控制器施加于它的电压信号有关,并与其大小成线性关系。压电式移相器具有体积小巧、高精度、纳米级高分辨率、响应速度快、高刚度、控制简单且不受磁场影响等优点。
 
  压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷驱动,它由直流电压信号来控制,在150V电压下产生的位移约0.7µm,可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800V,在此电压下,产生的位移约3.73µm。
 
  该压电移相器是专为移相应用而设计,可通过电压控制进行超快速步进调节,同时,可通过手动调节θx、θy两轴的偏转角度,角度调节范围可达±4°。将镜片调节与移相步进结合,使其更方便于像移、干涉测量等应用。
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