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芯明天推出P18大行程压电纳米定位台,运动范围Z大可达1.1mm

P18

 

 

P18系列是基于压电驱动的纳米定位平台,它的特点是体积紧凑、外形超薄,对于X向200微米运动版本的尺寸仅为100 x 100 x 15mm,X向zui大行程可达1.1mm,对应外形尺寸为100 x 100 x 44mm。中心具有直径35mm的通孔,非常适于显微或扫描应用中的样品定位。

P18压电纳米定位台内部由高性能压电叠堆陶瓷驱动,具有响应速度快、分辨率高、承载力大等特点,zui大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配套芯明天大功率控制器响应时间zui高可达5ms,是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用的理想选择,也适用于一至三维的精密扫描定位应用。

 

P18系列产品特点

 

 

 X、XY、XYZ多种运动方向可选;

 体积紧凑:长100×宽100mm;

 多种标称行程可选

    280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm;

 中心通孔尺寸:Ø35mm;

 纳米级定位精度;

 高性能压电促动器驱动,使用寿命长;

 

频率负载曲线及优异的导向设计

 

 

P18频率负载曲线示意图:

P18频率负载曲线

优异的导向设计:

通过有限元分析的挠曲铰链机构用于紧凑的压电平台。因其柔性铰链结构为完全自由、无摩擦的,无论多么微小的距离,挠曲铰链都能够达到极高的运动精度。同时,也将运动方向的刚度进行了优化。

 

伺服控制定位,纳米级分辨率

 

高分辨率、高带宽的应变传感器(SGS)装配于驱动机构的zui恰当的位置,用以直接测量平台移动部件的位移。SGS传感器确保了zui适宜的定位稳定性,精度在纳米范围,且响应速度快。

开环版本对于要求快速响应及非常高分辨率但定位不重要的应用是非常理想的。

开环版本也适用于使用外部直线定位传感器的应用,外部传感器如干涉仪,PSD(位置敏感传感器),CCD片/成像处理系统,或操作员的眼手配合调节。

 

P18开环曲线

P18.X一维开环曲线

 

 

P18系列产品运动方式

 

P18系列压电纳米定位台可产生一维X向运动,也可组合形成XY二维或XYZ三维运动。位移行程从0μm至1.1mm范围可选。

 

P18运动方式

 

P18.X一维运动方式

 

 

P18高性能压电促动器保证使用寿命长

 

通过高性能多层压电促动器可保证zui高的可靠性。芯明天促动器外部的绝缘性使其可抵御环境的湿度及漏流风险。可靠性及寿命远优于传感促动器。

 

压电陶瓷

 

P18系列1-3维扫描台,多种行程可选

 

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

 

Δ  一维X向运动可选行程:

      280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm;

Δ  二维XY向运动可选行程:

      280μm、370(或±185)μm;

Δ  三维XYZ向运动行程:

      280μm;

 

 

典型应用/Applications

 

  图像处理与稳定 • 扫描显微
 • 干涉计量   • 表面检测
 • 半导体测量 • 光学计量

 

             

 

P18系统产品部分参数

 

P18部分参数(尾缀S:闭环;尾缀K:开环)

 

型号

P18.X200S
P18.X200K

P18.X600S
P18.X600K

P18.X900S
P18.X900K

单位

  运动自由度

X

X

X


 

  标称行程范围

200

600

900

µm

  zui大行程范围

280

740

1110

µm

  传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-


 

  分辨率

8/5

15/5

25/5

nm

  线性度

0.2/-

0.25/-

0.4/-

%F.S.

  重复定位精度

0.15/-

0.15/-

0.2/-

%F.S.

  推/拉力

60/20

150/150

90/90

N

  刚度

0.3

0.3

0.1

N/µm

  空载谐振频率

0.5

0.3

0.12

kHz

  承载能力

2

2

1

Kg

  静电容量

11

42

63

μF

  重量

200

380

600

g

  高

15

29.5

44

mm

  长×宽

100×100

mm

  通孔

Ø35

mm

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质


 

  出线长

1.5

m

  传感/电压连接器***

LEMO


 

 

 

应用实例-纳米光刻

 

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻,匹配芯明天E01.D3压电控制器使用,可达到较好的位移、精度等性能。

 

纳米光刻

 

 

推荐配套驱动器与控制器

 

E01.D3

 

E01.D3(尺寸:280×170×360mm)

 

E70

E70(尺寸:240×60×140mm)

 

E72.S3

E72.S3(尺寸:116×77.5×100mm)

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