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干涉扫描中的中空式三维压电偏转镜

S23.ZT1K系列压电偏转镜为θx、θy偏转/俯仰及Z轴升降台,台体中心通孔,产品体积小巧、结构紧凑,可以实现的偏转范围为1.5mrad, Z轴直线运动行程为10μm,产品为开环版本,具有非常高的分辨率及响应速度,是干涉扫描移相的理想选择

 

特点

• θx、θy 偏转,Z 轴升降

• 中心通孔:Ø10mm

• Z向行程10μm

• 偏转角度可达1.5mrad/轴

• 温度稳定性高

 

应用

• 图像处理与稳定

• 激光扫描/光束偏转

• 主动及自适应光学

• 光学滤波器

• 光束稳定

 

中心通孔 高动态性 

SS23.ZT1K压电偏转镜为多轴俯仰升降台,产品体积为Ø20×19.5mm, 可以实现θx、θy轴1.5mrad的偏转,Z轴10μm的升降。具有非常高的分辨率及亚毫秒的响应速度,三角架结构设计具有很宽的使用温度范围。台体中心带有通孔,孔径为Ø10mm,适用于透光应用,如光过滤等。

 

可配套镜片转接座

SS23.ZT1K可选择配套镜片转接座,用于镜片的安装与固定。

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技术参数

型号S23.ZT1K

运动自由度 θx、θy、Z

θx、θy偏转角度(0~120V)1.2mrad(≈240"

Z向直线行程(0~120V)8μm

θx、θy 偏转角度(0~150V)1.5mrad(≈300"

Z向直线行程(0~150V)10μm

θx、θy偏转分辨率0.02μrad(<0.01"

Z 向位移分辨率0.1nm

空载谐振频率θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz

空载阶跃时间0.5ms

静电容量0.5μF/轴

材质

重量80g

 

推荐控制器

SS23.ZT1K压电偏转镜θx、θy偏转及Z轴升降开环运动机构,可配套芯明天三通道E70.C3K开环压电控制器,实现精密运动控制。

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