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X轴大行程压电纳米定位台

P60.X250高精度的一维X向压电纳米定位台,平台采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构,内置高性能压电叠堆陶瓷,具有非常高的线性度,运动行程可达330μm已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

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P60.X250可以选择开环或闭环版本,闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),以消除热漂移,使得该系列纳米定位台可以实现非常高的线性度与重复度。同时,其抗震动的设计,非常适用于相关实验及应用环境。

特点

X向运动

行程可达330μm

• 抗振动设计

• 两通道控制(含1路恒压)

• 差分驱动

• 快速响应

应用

计量/干涉

• 纳米定位

• 质量保证测试

• 精密控制

电压位移曲线

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阶跃时间曲线

P60.X250S带载200g,小幅值阶跃时间可达20ms。

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技术参数

运动自由度X

行程范围(0~120V)±130μm

行程范围(0~150V)±165μm

传感器SGS

/开环分辨率12/5nm

闭环线性度0.1%F.S.

闭环重复定位精度0.04%F.S.

俯仰/偏航/滚动10μrad

/拉力300/30N

运动方向刚度1.2 N/μm

空载谐振频率490Hz

/开环空载阶跃时间80/40ms

承载能力0.6kg

静电容量24.6μF

工作温度-40~+80℃

抗振设计半正弦15g,11ms

后峰锯齿波20g,11ms

材质钢、铝

重量950g

推荐控制器

P60.X250为一维X向差分驱动定位台,需配套两通道(含一路恒压)控制器,可配置芯明天四通道E70系列压电控制器,同时驱动两台P60.X250,实现精密运动控制。

 

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