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一维Z向小体积直线压电平台

P11.Z100为小体积一维Z向压电平移台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。

压电定位台控制精度分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。

 

特点

 一维Z向运动

 位移可达100μm

 体积小巧

 毫秒级响应时间

 真空版本可选

 

闭环版本定位精度高 响应速度快

P11.Z100压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。

P11.Z100系列压电纳米定位台的响应速度快,配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。

宏微复合机构

P11.Z100配套宏动机构,可组成毫米级行程,纳米级分辨率的宏微复合机构平台。

技术参数

型号P11.Z100

运动自由度Z

行程范围(0~120V)80μm

行程范围(0~150V)100μm

闭环传感器类型SGS

/开环分辨7/4nm

闭环线性度0.05%F.S.

闭环重复定位精度0.02%F.S.

俯仰/偏航/滚动<10μrad

/拉力30/10N

运动方向刚度0.3N/μm

空载谐振频率0.3kHz

/开环空载阶跃时间10/0.8ms

承载能力0.8kg

静电容量1.8μF

材质钢、铝

重量100g

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