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纳米定位台是如何满足纳米调节使用的?
   纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点。
  纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。
  纳米定位台如何满足纳米调节使用?
  晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。要求较高的不仅是我们想象的要在豌豆大小的面积上集成上以百万计的电子元器件,另外对于生产好的晶圆进行切割(分离)也是一项难题(见下图),然而切割技术的不成熟造成了50%以上的浪费,所以提高晶圆切割技术水平很是必要。
  根据纳米定位台的Z轴大量程移动范围,高刚度的保证,微秒级的动态响应时间,超小的迟滞,稳定工作负载都符合行业领域指标。
  纳米定位台使用新双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业,拥有精良的动态性能和精度。纳米定位平台提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。
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