压电扫描台的响应速度十分迅速，利用压电陶瓷的形变驱动，以柔性铰链为导向，采用硅高精度位移传感器，并利用超低电子噪声的控制器使位移平台拥有紧凑的体积、亚微米的分辨率及超低底噪。被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。
压电扫描台专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
空式压电平台是指平台台面有透空通孔的平移台。主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。如超分辨显微镜、原子力显微镜（AFM显微镜）生物学研究等。
压电扫描台主要应用：
1.图像处理与稳定/扫描显微；
2.干涉/计量；
3.表面检测；
4.晶圆定位/微操作。
压电扫描台大行程稳定性好响应速度快，压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台可实现XY轴187.5×187.5μm的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。
