P63系列压电纳米运动平台为芯明天标准产品之一,它的标称行程范围为5.5μm/轴,一至三维运动自由度可选。
P63.XYZ-D1是基于P63系列进行内部结构及外观尺寸的微调整,将XY向的标称位移增大到了16μm,以满足使用者对XY向更大运动范围的要求,既在成本上得到了很好的控制,又满足了用户使用的需求。
微调后的P63.XYZ-D1依然保持小体积的特点,尺寸仅L40×W40×H42mm,易于集成。XY轴标称行程为16μm,Z轴标称行程为6μm。
P63.XYZ-D1闭环阶跃时间图(带载)
P63.XYZ-D1压电运动平台,在带载100g负载的情况下,满行程阶跃时间约9ms。
P63.XYZ-D1技术参数
型号:P63.XYZS-D1
运动自由度:XYZ
标称行程范围(0~120V):XY 16μm,Z 6μm
行程范围(0~150V):XY 18μm,Z 8μm
传感器类型:SGS
闭环分辨率:0.6nm
开环分辨率:XY0.2/Z0.1nm
闭环线性度:XY0.3%F.S. , Z1%F.S.
闭环重复度:0.5%F.S.
俯仰/偏航/滚动:≤15μrad
空载谐振频率:XY2/Z1kHz
闭/开环空载阶跃时间:8/0.5ms
承载能力:0.5kg
静电容量:X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF
Z轴闭环电压与位移曲线
注:实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。
XY轴开环电压与位移曲线
注:实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。
位移测量
利用电容测微仪测量各轴运动行程。