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芯明天压电物镜定位器的应用领域

芯明天压电物镜定位器以压电陶瓷为驱动源,带载物镜做纳米级步进运动,机构采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量小,具有良好聚焦稳定性。芯明天压电物镜定位器在结构上可分为三种类型结构:高动态型、大行程型及大负载型。

高动态压电物镜定位器

该系列压电物镜定位器采用的平行四边形设计原理,高刚度,可带200g负载高速运动。

大行程压电物镜定位器

该系列产品是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚焦显微扫描装置,产品体积小巧,位移行程可达500μm。

大负载压电物镜定位器

大负载压电物镜定位器具有承载力大、响应速度快、Z轴运动直线性好等特点,可带500g负载高速运动。

应用领域 

光学显微成像:

显微光学成像,是指透过样品或从样品反射回来的可见光,通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。压电物镜定位器可带动物镜头做Z向精密高速运动,可使观测精度达纳米级。

白光干涉:

白光干涉技术以可见光为光源,光源发出的白光通过干涉物镜后在半透射光学平面反射一半光强,另一半光强透射后照射在量测物表面并反射再次进入干涉物镜,与原光学平面的反射光产生干涉。搭配芯明天P73系列压电物镜定位器,准确性高可达纳米解析度,垂直扫描高度可达500μm。

晶圆切割:

激光经过透镜聚焦,再通过压电物镜定位器调整焦点的位置,使焦点准确的定位在晶圆待切割部位,被切割部位温度升高,然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动,在切割材料上形成切缝从而达到切割的目的。

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