压电偏转镜的特点说明
产品特点：
外形尺寸： 体积小巧、结构紧凑、φ25mm*56mm
行程：6mrad 分辨率：0.05μrad
采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统，具有超高的导向精度
内置高性能压电陶瓷、高可靠性
内置位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择，可提供安装及出线方式
压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动的倾斜镜，压电倾斜镜内部采用无回差柔性铰链并联结构，采用有限元分析柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点，压电偏转镜内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，确保偏转镜具有的运动控制精度、分辨率和稳定性，可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成光学系统中。
