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纳米定位台的特点和应用

纳米定位台的特点和应用

  主要特点

  高于行业标准3倍速度:<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制;600Hz的响应频率;20N/μm的刚度

  装备双传感器技术:在不同的负载下无需重新校准;优越的机械带宽;

  的ZSY纳米传感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的线性度;0.005%的剩余磁滞;

  免工具安装适配器;

  超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性。

  纳米定位台应用领域

  表面结构分析;

  自动对焦系统;

  共焦显微镜;

  扫描干涉仪。

  纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,具有超高的导向精度,定位精度可达纳米级,分辨率达亚纳米,毫秒级定位稳定时间,产品体积小巧,结构紧凑,易于集成到其他设备中。

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