高压压电陶瓷叠堆

高压压电陶瓷叠堆定制是将单晶体压电陶瓷片与金属电极层交替叠堆粘接而成，标准驱动电压0~500V，0~1000V，高压叠堆陶瓷因其出力大，静电容量低等特点，适用于大负载以及加载预紧力后的动态的应用。

应用：

• 纳米定位 • 主动振动控制

• 半导体加工测试 • 光学调整

• 隔震平台

• 腔调谐

工艺结构：

高压压电陶瓷是将单层压电陶瓷片与金属片电极 层交替进行堆叠粘接。右图所示为一种高压压电叠堆， 其通过叠置 PZT 陶瓷层制成，各陶瓷层实现独立电接 触，从而形成多层电容器结构。相较于低压压电陶瓷， 相同体积，静电容量较低，在预载力的条件下动态性 能更好。

柱形高压压电叠堆陶瓷 High Voltage Cylindrical Piezo Stack

*PSt1000：标称位移是在 0~1000V 驱动电压下的位移行程，最大行程是在 -200V~1000V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~800V。

环形高压压电叠堆陶瓷 High Voltage Ring Piezo Stack

*HPSt500 : 标称位移是在 0~500V 驱动电压下的位移行程，最大行程是在 -100V~500V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~400V。

HPSt1000 : 标称位移是在 0~1000V 驱动电压下的位移行程，最大行程是在 -200V~1000V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~800V。