XP-63系列压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。

XP-63系列压电纳米定位台典型应用

• 干涉    • 生物技术
• 纳米定位    • 微加工/精密控制

 应用实例

  采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。

XP-63系列压电纳米定位台特点：

• 1~3维自由组合

• zui大行程68μm

• zui大承载5kg

• 重复定位精度可达0.05%F.S.

• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

    XP-63X系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。多种规格型号可选。柔性铰链采用精密线切割技术。 

体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高
XP-63X系列压电纳米定位台结构设计，具 有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特 点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时 间仅为5ms。
XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅 为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号 并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到 的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。

XP-63系列压电纳米定位台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。