XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴zui大220μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。 特性 • 一维X向运动，zui大行程220μm • zui大承载5kg • 通孔尺寸：25×25mm • 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选 外观形状 | 产品运动示意图 | 台体采用放大机构设计，运动行程范围大 | 
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大行程、高精度、大负载 | 出厂检验测试 | 频率负载曲线 | XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理，可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。 优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位。 | 
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应用 • 精密定位 • 光学显微成像 • 细胞穿透 • SPM扫描显微镜 • 干涉 • 掩模/晶圆定位 • 计量 • 生物技术 • 表面结构分析 1~3维扫描台 XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格型号，可以自由叠加组合。 
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