压电马达内部仍为压电陶瓷驱动，它分为直线运动型及角度运动型，利用粘滑原理，通过压电陶瓷的快速振动，达到微纳米级的步进，总直线运动行程范围可达几百毫米，角度行程可达360度。 应变传感器主要用于测量一个结构表面的形变，具有非常高的测量敏感度，可间接进行力的测量，力的过程监控等。 特点： · 行程：3.5mm-30mm · 分辨率：<1nm · 承载力：4kg-30kg MN技术参数 产品系列 | MN15(3.5mm) | MN15(10mm) | MN15(18mm) | MN30(30mm) | 单位 | 机械参数 | 宽度 | 15 | 22 | 40 | 52 | mm | 高度 | 7 | 7 | 12.5 | 12.5 | mm | 深度 | 15 | 15 | 30 | 30 | mm | 行程 | 3 | 10 | 18 | 30 | mm | 重量 | 6 | 20 | 38 | 32 | g | 速度 | 1.5 | 1.5 | 1.2 | 1.2 | mm/s | zui大承载 | 动量（Mx） | 4 | 4.5 | 5 | 5 | Ncm | 动量（My） | 4 | 1.5 | 5 | 5 | Ncm | 动量（Mz） | 4 | 3.2 | 5 | 5 | Ncm | 出力（Fx） | 3 | 3 | 4.5 | 4.5 | N | 承载（Fy, Fz） | 20 | 20 | 30 | 30 | N | 精度 | 偏航角度 | 20 | 20 | 20 | 20 | arc sec | 俯仰角度 | 60 | 60 | 60 | 60 | arc sec | 垂直度偏差 | 1 | 1 | 1 | 1 | μm |
|
