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产品名称:H62 系列六轴压电纳米定位台

产品型号:

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产品特点:H62 系列六轴压电纳米定位台,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。

更新日期:2024-03-04

H62 系列六轴压电纳米定位台的详细资料:

H62 系列六轴压电纳米定位台

产品特点

 X、Y、Z、θx、θy、θz 六轴运动 

 可选配闭环反馈传感器

 承载能力达 200g 

 超薄体积

H62 系列六轴压电纳米定位台

 
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