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产品名称:XYXYZ72压电宏微复合平台

产品型号:

产品报价:

产品特点:XYXYZ72压电宏微复合平台,采用压电粘滑原理与压电微动技术相结合的方式,满足XY轴mm级大行程,并且实现Z轴nm级的高精度。

更新日期:2023-08-28

XYXYZ72压电宏微复合平台的详细资料:

XYXYZ72压电宏微复合平台 产品特点

 XY宏动毫米行程,适于镜头等位置横向调整

 Z向微动微米行程,适于光学聚焦调整

 Φ35mm中心通孔,适于透射光应用

技术参数

型号XY72N81K13 XYZ72SN81K13XYZ72KN81K13单位
运动自由度X YX Y ZX Y Z
XY 宏动行程±5±5±5mm
Z 微调行程-8@150V8@150Vμm
XY 最小位移增量<30<30<30nm
Z 分辨率-0.30.1nm
Z 微调传感器-SGS-
Z 线性度-0.25-%F.S.
Z 重复定位精度-0.25-%F.S.
Z 空载谐振频率-2.52.5kHz
承载能力1.5正立:500正立:500g
侧放:200侧放:200
中心通孔φ35φ35φ35mm
重量-695695g
压电螺钉连接器RJ11RJ11RJ11

XYXYZ72压电宏微复合平台

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