欢迎来哈尔滨芯明天科技有限公司!我们将为您提供到位的服务!
联系我们Contact us
公司名称:哈尔滨芯明天科技有限公司
联系人:杨先生
固话:0451-86268790
手机:17051647888
地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
首页 > 产品中心 > > 压电纳米定位台系列 > 一维X轴压电纳米定位台

产品名称:一维X轴压电纳米定位台

产品型号:P66

产品报价:

产品特点:P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

更新日期:2021-09-08

P66一维X轴压电纳米定位台的详细资料:

 P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

典型应用

•  干涉/ 扫描 • 计量

• 质量保证测试 • 微加工/精密控制

• 光盘驱动测试 • 半导体技术

应用实例:原子力探针扫描显微镜

芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可 靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

特性:

• 大位34μm• 开环闭环可选 • 大承载5kg• 重复定位精,可达纳米级• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

P66系列压电纳米定位台包括X、XY、XZ、XYZ 多种规格型号,可以实现1-3维纳米级精密运动与定 位。

开环与闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版 本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快 速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合 适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信 号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该系列 纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复 度。

P66一维X轴压电纳米定位台技术参数;




尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P66.X30S

P66.X30K

P66.XY30S

P66.XY30K

P66.XYZ30S

P66.XYZ30K


单位

运动自由度

X

X、Y

X、Y、Z


标称行程范围(0~120V)

24

24/轴

24/轴

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

34

34/轴

34/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-


闭/开环分辨率

1.5/0.7

1.5/0.7

1.5/0.7

nm

闭环线性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

0.05/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

<15

<15

µrad

推/拉力

150/15

120/15

80/15

N

运动方向刚度

5

X4/Y4.2

X2.8/Y3/Z3.2

N/μm±20%

空载谐振频率

2.6

X1.1/Y1.8

X1.2/Y0.8/Z0.5

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/0.8

5/0.8

10/0.8

ms±20%


闭环空载 工作频率

10%行程

500

260

150


Hz±20%

行程

50

25

15

大承载

5

4.5

3.5

kg

静电容量

3.6

3.6/轴

3.6/轴

μF±20%

材质


重量

120

260

500

g±5%


以上参数是采用E00系列压电控制器测得。



 相关同类产品:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
全国统一客服电话:

17051647888

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
联系人:杨先生
手机号码:17051647888
固定电话:0451-86268790

哈尔滨芯明天科技有限公司专业提供P66一维X轴压电纳米定位台等产品信息,欢迎来电咨询!

哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有  ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网  网站地图