产品名称:一维X轴压电纳米定位台
产品型号:P66
产品特点:P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
更新日期:2021-09-08
P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
典型应用
• 干涉/ 扫描 • 计量
• 质量保证测试 • 微加工/精密控制
• 光盘驱动测试 • 半导体技术
应用实例:原子力探针扫描显微镜
芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可 靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。
特性:
• 大位34μm• 开环闭环可选 • 大承载5kg• 重复定位精,可达纳米级• 亚毫秒响应时间
1-3维平移台
P66系列压电纳米定位台包括X、XY、XZ、XYZ 多种规格型号,可以实现1-3维纳米级精密运动与定 位。
开环与闭环版本可选
P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版 本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快 速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合 适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信 号。
传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该系列 纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复 度。
P66一维X轴压电纳米定位台技术参数;
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P66.X30S P66.X30K | P66.XY30S P66.XY30K | P66.XYZ30S P66.XYZ30K | 单位 | |
运动自由度 | X | X、Y | X、Y、Z | ||
标称行程范围(0~120V) | 24 | 24/轴 | 24/轴 | μm±20% | |
大行程范围(-20~150V) | 34 | 34/轴 | 34/轴 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | |
闭环线性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | <15 | µrad | |
推/拉力 | 150/15 | 120/15 | 80/15 | N | |
运动方向刚度 | 5 | X4/Y4.2 | X2.8/Y3/Z3.2 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 2.6 | X1.1/Y1.8 | X1.2/Y0.8/Z0.5 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 5/0.8 | 5/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 500 | 260 | 150 | Hz±20% |
行程 | 50 | 25 | 15 | ||
大承载 | 5 | 4.5 | 3.5 | kg | |
静电容量 | 3.6 | 3.6/轴 | 3.6/轴 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
重量 | 120 | 260 | 500 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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