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产品名称:芯明天放大机构式压电扫描台

产品型号:P16

产品报价:

产品特点:芯明天放大机构式压电扫描台 P16压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心通孔孔径为20mm,该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选,开环闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。

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P16芯明天放大机构式压电扫描台的详细资料:

   芯明天放大机构式压电扫描台 P16压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心通孔孔径为20mm,该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选,开环闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。

P16压电扫描台特性

•最大位移100μm

• 最大承载1.5kg

• 通孔尺寸:Ø20mm

• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选

刚度大、谐振频率高、负载能力大

    P16系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性 能压电陶瓷,两个规格型号扫描台分别可实现50μm与100μm 的运动行程,一体式结构设计XY轴运动无耦合,优异的结构 可以承载1.5kg的负载,空载谐振频率达400Hz。

    P16.XY100版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道 恒压的三通道压电控制器。

   P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm,该系列压电 扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成 像等领域。

芯明天放大机构式压电扫描台P16压电扫描台典型应用

• 显微成像 • 表面检测

• 干涉/计量 • 精密定位

• 光学 • 微操作

应用实例

    P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光 路调整实验中,带载大镜架做XY轴精密运动。

P16压电扫描台技术参数:

 

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P16.XY50S P16.XY50K

 

P16.XY100S P16.XY100K

 

单位

运动自由度

X、Y

X、Y

 

标称行程范围(0~120V)

40/轴

80或±40/轴

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

55/轴

100或±50/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø20

Ø20

mm

闭/开环分辨率

10/5

10/5

nm

闭环线性度

0.4/-

0.4/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

<25

µrad

推/拉力

30/10

30/30

N

运动方向刚度

X0.5/Y0.5

X0.5/Y0.5

N/μm±20%

空载谐振频率

X200/Y200

X400/Y400

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/0.8

10/1.6

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

100

 

Hz±20%

100%行程

20

40

最大承载

1.5

1.5

kg

静电容量

1.8/轴

3.6/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

 

重量

200

220

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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