产品名称:芯明天放大机构式压电扫描台
产品型号:P-18系列
产品特点:芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描,大通光孔径为Ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
更新日期:2021-03-23
芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描,大通光孔径为Ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
芯明天放大机构式压电扫描台P-18压电扫描台特性
• 大位移370μm
• 大承载3.5kg
• 通孔直径:Ø35mm
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
1~3维扫描台
P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以 实现大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计,具有大刚度、大出力、大承 载等特点,大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms,是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。
P-18压电扫描台典型应用
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
P-18压电扫描台技术参数:
|
相关同类产品: |
哈尔滨芯明天科技有限公司专业提供P-18系列芯明天放大机构式压电扫描台等产品信息,欢迎来电咨询!
哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有 ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网 网站地图