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压电物镜扫描器在光刻技术中的应用
  压电物镜扫描器是径向极化压电材料的薄圆管体,具有四个外部电极和连续的内部电极。当电压施加到外部电极之一时,相应区域的致动器管壁膨胀,这引起管尖的垂直收缩和大的横向偏转。圆周电极可用于垂直或径向伸展和收缩。
 
  压电物镜扫描器在驱动内部电极配置中,X和Y电极以标准方式相等且相反极性的电压驱动。通过向内部电极施加满量程负电压,获得等于垂直扫描范围的一半的收缩。该方法利用压电材料更高的正电场强度,其通常是负电场强度的五倍。要注意不要对内部电极施加正电压,因为这会导致去极化。
 
  压电陶瓷管配有镍薄膜电极。内部电极是连续的,外部电极是四分区的。通过用稀硝酸蚀刻可以去除表面电极。可根据要求提供定制电极配置。在需要高磁场的应用中,镍电极可以用铜或金代替。铜是一种经济的选择,但金电极具有优异的耐腐蚀性和导电性。
 
  纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,激光光刻是纳米光刻最主流的方式之一,特别是光子晶体,超材料的发展在很大程度上依赖于激光光刻技术的进步,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础。
 
  光刻过程是指放置在电动平台上的光刻胶基片随着电动平台的转动和平移,由声光调制器控制光束的强弱对光刻胶进行变剂量曝光,通常电动平台的定位精度达到微米或亚微米量级。然而由于惯性、静摩擦、松动等所造成的电动平台螺距误差与偏移,将直接影响着系统的性能和光刻元件的质量。
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