欢迎来哈尔滨芯明天科技有限公司!我们将为您提供到位的服务!销售热线:0451-86268790 17051647888
联系我们Contact us
公司名称:哈尔滨芯明天科技有限公司
联系人:杨先生
固话:0451-86268790
手机:17051647888
地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
首页 > 新闻中心 > 中空式压电六轴纳米定位运动平台|开工大吉!
中空式压电六轴纳米定位运动平台|开工大吉!

热热闹闹的新春假期结束了,新的一个农历年到来,大家也都回到了自己的岗位上,芯明天祝大家开工大吉! 

此次推文为大家带来一款芯明天的六轴压电纳米运动平台-H61.XYZTR0S!

芯明天六压电纳米定位台H61.XYZTR0S是一款六轴运动的压电平台,精度高、承载大,适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转,中心具有通孔,适于进行纳米高精度定位调节的透射光应用。

2.jpg

 

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的驱动形式不同于六自由度结构,它的外形更加常规化,运动区域局限于中心方形移动台面,非常易于平台与负载的安装固定。

大型通孔,适于透光应用

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的中心具有50mm×50mm的方形通孔,非常适合透射光的应用,如样品的观测与显微成像等。

3.jpg

 

承载能力强,适于大负载应用

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的承载能力可达10.5kg!非常适合较大型样品负载的六轴纳米定位。

4.jpg

 

六轴纳米定位,更高精度

 

        H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台在X Y方向的位移为80μm(或±40μm),Z向位移达35μm,θx θy方向的偏转行程为0.7mrad/轴(或±0.35mrad/轴),θz方向的偏转行程为0.3mrad/轴(或±0.15mrad/轴)。

        在如此小的运动范围下,六轴压电平台可进行更加精确的纳米级直线运动与纳弧度级角度运动,为应用环境提供超高精度的运动控制。

 

5.jpg

 

配套控制器 - E51.D7S压电控制器

图所示,E51.D7S压电控制器是专用于驱动六压电定位而设计研发的低功耗、低纹波控制器结构紧凑易于集成。与H61.XYZTR0S压电定位台构成高精度六轴纳米定位系统。E51.D7S压电控制器的控制下,H61.XYZTR0S压电定位平台X、Y、Z、θx、θy、θz六个维度的操作与控制将更加灵活,即使在10kg的超大负载下。

使得H61.XYZTR0S压电定位的应用范围扩展到多个领域。

6.jpg

 

H61.XYZTR0S轴定位系统

(图左:E51.D7S压电控制器,图右:H61.XYZTR0S

典型应用

• 六轴超精密位置调整

• 棱镜位置调整

• 光学应用

• 透射光应用

 

实测数据曲线

1)角度与电压曲线

7.jpg

 

2)直线位移与电压曲线

8.jpg

 

3)阶跃时间曲线

图片1.png

 

 

技术参数

 

型号:H61.XYZTR0S

运动方向:X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制:7路驱动

XYZ标称行程范围(0~120V):         

XY:±32μm/轴        

Z:28μm

XYZ行程范围(0~150V):        

XY:±40μm/轴        

Z:35μm

θxθy 标称偏转行程(0~120V):

±0.28mrad/轴

θz 标称偏转行程(0~120V):

±0.12mrad/轴

θxθy 偏转行程(0~150V):

±0.35mrad/轴

θz 偏转行程(0~150V):

±0.15mrad/轴

空载谐振频率:350Hz

负载10.5kg谐振频率:50Hz

传感器:SGS

承载能力:10.5kg

中心通孔:50mm×50mm

外形尺寸:L200×W200×H64 mm^3

使用方式:正向使用、静态

静电容量:       

 XYZ  29μF/轴        

θxθyθz  15μF/轴

重量:<4kg

材质:钢、铝

 

 

全国统一客服电话:

17051647888

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
联系人:杨先生
手机号码:17051647888
固定电话:0451-86268790

哈尔滨芯明天科技有限公司(www.coremorrow.cn)主营:压电促动器,压电移相器,压电快反镜,快速刀具定位器

哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有  ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网  网站地图

在线客服
在线客服
用心服务 成就你我
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站