芯明天压电纳米定位技术助力中国芯片产业，加速“中国芯”！
更新时间： 2018-05-14
哈尔滨芯明天科技有限公司专注于压电纳米定位技术近二十载，已发布众多的压电式直线及角度超精密定位产品，并不断进行技术改进，目前直线定位产品定位精度可达亚纳米级，角度定位产品的定位精度可达纳弧度级，重复度可达0.02%F.S.。
?哈尔滨芯明天科技有限公司作为中国的一个生产制造企业，正在并将持续不断改进我们的技术，提高产品的精度及质量，助力于中国芯片产业快速发展！
芯明天压电定位产品之压电物镜定位器
压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片进行聚焦，显著提高定位精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
利用芯明天压电物镜定位器进行激光加工
?芯明天压电物镜定位器具有Z向纳米级定位精度，它的主要应用之一就是激光加工，例如晶圆切割。物镜将激光束进行聚焦，通过压电物镜定位器调整激光束加工点的位置，调整精度为纳米级，且速度可达亚毫秒。
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激光加工之晶圆切割
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激光经过透镜聚焦，再利用芯明天压电物镜定位器调整焦点的位置，使焦点准确的定位在晶圆待切割部位，使被切割部位温度急速升高，然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动，在切割材料上形成连续切割点从而达到切割的目的。
?芯明天压电物镜定位器部分参数：
型号 | 聚焦范围 [μm] | 分辨率 [nm] | zui大承载 [g] | 类型 |
P72.Z100 | 110 | 2.5 | 200 | 小体积 |
P73.Z500 | 550 | 7 | 400 | 大行程 |
P76.Z100 | 110 | 2.5 | 500 | 大负载 |
安装结构
为了更方便的更换物镜，安装座分别通过独立的转接件与显微镜和物镜进行连接。压电物镜定位器通过螺纹适配器安装于显微镜与物镜间。转接件可选M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同时芯明天也接受定制螺纹适配器。
芯明天压电物镜定位器可装配多种品牌、尺寸物镜
多种螺纹牙尺寸可选，可配置不同品牌的物镜，也可选择螺纹牙转接器进行转接。螺纹尺寸可定制。
芯明天压电物镜定位器其他应用举例
白光干涉
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白光干涉技术以可见光为光源，光源发出的白光通过干涉物镜后在半透射光学平面反射一半光强，另一半光强透射后照射在量测物表面并反射再次进入干涉物镜，与原光学平面的反射光产生干涉。搭配芯明天压电物镜定位器，准确性高可达纳米解析度，垂直扫描高度可达550μm。
原子力显微镜
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原子力探针的针部置于干涉显微镜的光轴上，产生干涉条纹由CCD接收，当样件移动时，表面高度变化，引起原子力探针的变化，其变化量由白光干涉条纹计量。当原子力探针的变化量超过预定阈值，探针拉回原位，实现原子力探针的跟踪测量。
?差动式聚焦检测系统
差动式聚焦检测系统中，一束很强的汇聚激光投影到工件之上，聚焦镜通过压电物镜定位器可垂直移动，其移动量由焦点误差信号控制，焦点误差信号探测它对真实表面的距离变动。当激光经工件转换并传递时，聚焦镜通过反馈系统维持与工件的距离，该反馈系统是从像检测器到由压电物镜定位器控制的聚焦镜的一个转换回路，聚焦镜的运动量表示所测表面的粗糙度数值。
显微光学成像
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显微光学成像，通常也称“光学显微成像”，或“光学显微术”（Optical Microscopy，或Light Microscopy），是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。压电物镜定位器可带动物镜头做Z向超精密运动，可使观测精度达纳米级。
