新品推荐-150mm×150mm大通光孔！S51.ZT1S150大负载压电偏摆台
在精密光学系统、显微成像及半导体检测等应用中，对光束或样品平台进行高精度、多自由度的动态调节是一项关键技术需求。哪怕光路对准偏差一点点，或者样品位置偏移一丝一毫，都可能导致产生误差甚至造成实验失败。因此，高精度的姿态调节能力就成为了这些领域的核心需求。
我们在现有S51系列大负载压电偏摆台的成熟技术基础上，研发了新型S51.ZT1S150压电偏摆台。这款新品在通光孔径、运动行程与负载能力等关键指标上进行了针对性设计与平衡，在满足中等通光需求的同时，兼顾高负载与多轴运动能力，为更多复杂应用场景提供可靠支持。
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压电偏摆台：精密调姿领域的利器
压电偏摆台之所以成为精密设备中的核心产品，离不开它几项突出的技术特点：
1.柔性铰链导向结构：无摩擦、无间隙、无回差，确保长期运行的稳定性和重复定位精度；
2.高分辨率：直线运动分辨率可达纳米级、偏转分辨率达亚微弧度级，满足精密调姿需求；
3.快速响应：阶跃响应时间可达毫秒级，能快速完成姿态调整，适配高速扫描与动态追踪需求；
4.低功耗与紧凑设计：功耗低，无电磁辐射，紧凑的结构便于集成到各类空间有限的光学系统中；
5.高刚度、免维护：可在复杂工况下长期稳定运行，为各类高要求精准调姿场景提供核心支撑。
S51.ZT1S150大负载压电偏摆台
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新品S51.ZT1S150的核心优势
作为S51系列的新款产品，S51.ZT1S150不仅继承了原有优势，更在关键参数上实现了精准突破。
1.通光孔精准补位，适配更多光路需求
在光学应用中，通光孔尺寸直接决定光路兼容性，太小无法适配大口径光学元件，太大则可能造成设备冗余。S51.ZT1S150的150mm×150mm通光孔规格设计，补充原有S51系列的尺寸空白。无论是安装中等尺寸光学镜片、进行大面积样品扫描，还是多光束合束时的通光需求，S51.ZT1S150都能实现更精准适配，大幅提升了设备的适配灵活性。
2.多维度精准控姿，Z向大行程位移
S51.ZT1S150支持θx和θy两个方向的角度偏摆，偏摆角度可达±0.9mrad，满足大多数精密场景的角度调整需求；同时配备Z轴升降功能，行程可达200μm，可以更精准地适配纳米聚焦、多层样品检测等需要大行程Z向调整的场景。
3.承袭大负载优势，适配复杂工况
S51系列压电偏摆台的大负载能力广受市场认可，S51.ZT1S150延续了这一核心基因，可承载1.5kg负载。无论是搭载较重的光学元件、掩模组件，还是大面积样品台，S51.ZT1S150都能稳定运行，无需担心负载不足导致的定位漂移或台体变形，可满足中等或中型负载场景的复杂工况需求。
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多元应用场景：覆盖多行业精准调姿需求
凭借全面的性能优势，S51.ZT1S150可广泛应用于多个高精尖领域：
1.高精度激光加工：如激光切割、激光焊接等场景，S51.ZT1S150可实现激光光束的精准指向与微调，配合大通光孔适配中等口径激光，提升加工精度与效率
2.微纳制造与半导体：用于中等尺寸掩模或晶圆的位置微调，确保对准精度，助力提升芯片良率。
3.航空航天：可用于空间扰动模拟系统，提供微小角度激励，辅助验证振动抑制算法。
4.科研与生物技术：在扫描显微场景中，精准的偏摆与Z向调节能力可实现样品的精细扫描；200μm的Z向行程可适配不同深度的纳米聚焦需求，为超分辨成像、细胞精细操作等生物技术研究提供稳定支撑。
5.计量检测设备校准：在干涉仪、计量仪等设备的校准场景，S51.ZT1S150的高稳定性与纳米级定位能力，能帮助提升校准精度和数据可靠性。
实测曲线
电压与位移曲线
重复度曲线
线性度曲线
技术参数
型号 | /K150 |
运动自由度 | θx、θy、Z |
驱动控制 | 3路驱动，3路传感/3路驱动 |
θx、θy标称偏转角度(0~120V） | 1.4mrad/±0.7mrad（≈±144秒） |
Max.θx、θy偏转角度(0~150V） | 1.8mrad/±0.9mrad（≈±186秒） |
Z向标称行程(0~120V） | 160μm |
Max.Z向行程范围(0~150V） | 200μm |
传感器类型 | SGS/- |
通孔尺寸 | 150mm×150mm |
闭/开环θx、θy偏转分辨率 | 0.25μrad（≈0.05秒）/0.08μrad（≈0.02秒） |
闭/开环Z向直线分辨率 | 7nm/0.5nm |
闭环线性度 | θx0.03%F.S.\θy0.02%F.S.\Z0.01%F.S./- |
闭环重复定位精度 | θx0.03%F.S.\θy0.01%F.S.\Z0.01%F.S./- |
空载谐振频率 | 150Hz |
带载谐振频率 | 87Hz@750g |
闭/开环空载阶跃时间 | 100ms@750g/35ms |
静电容量 | 3.6μF/轴 |
承载能力 | 1.5kg |
材质 | 不锈钢、铝合金 |
重量 | 1230g |
推荐控制器
E70.D3S-L多通道压电控制器是基于标准E70压电控制器进行通信接口变换的三通道压电控制器，可通过串口、USB或网口进行数字通信，适用于驱动S51.ZT1S150系列压电偏摆台。E70.D3S-L控制器采用DC24V供电，可通过模拟或数字信号进行闭环控制，上位机软件支持二次开发。
