飞秒激光刻蚀中压电纳米扫描台的应用！
什么是飞秒激光
飞秒激光的特点
激光刻蚀原理与典型应用
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基本原理
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技术特征介绍
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典型应用
芯明天P12A压电扫描台
应用于飞秒激光刻蚀
飞秒激光刻蚀通过精确控制激光的能量、脉宽、扫描速度等参数，可以实现对金属、玻璃等材质表面的精密加工和刻蚀。相比于传统的机械加工和化学腐蚀等加工方法，飞秒激光刻蚀具有更高的加工精度和速度，能够实现更精细的图案和更复杂的结构的加工。同时，由于激光加工为非接触式加工，可以避免机械应力对材料的影响，降低了破损和误差的可能性。
技术参数
| 型号 | P12A.XYZ100 |
| 运动自由度 | XYZ |
| 驱动控制 | 3 路驱动 3 路传感 |
| 标称行程范围 （0~120V） | 80μm/轴 |
| 传感器类型 | SGS |
| 通孔尺寸 | 45×45mm^2 |
| 闭 / 开环分辨率 | 3nm/1nm |
| 闭环线性度 | 0.15%F.S. |
| 闭环重复定位精度 | 0.1%F.S. |
| 俯仰 / 偏航 / 滚动 | <20μrad |
| 推 / 拉力 | 20N/4N |
| 运动方向刚度 | X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm |
| 空载谐振频率 | X200Hz/Y150Hz/Z120Hz |
| 闭 / 开环空载阶跃时间 | 30ms/0.8ms |
| 承载能力 | 0.5kg |
| 静电容量 | 3.6μF/轴 |
| 材质 | 钢、铝 |
| 重量 | 350g |
| 型号 | P12A.XYZ200 |
| 运动自由度 | XYZ |
| 驱动控制 | 3 路驱动 3 路传感 |
| 标称行程范围 （0~120V） | 160/轴 |
| 行程范围（0~150V） | 200/轴 |
| 传感器类型 | SGS |
| 闭 / 开环分辨率 | 5.5nm/2nm |
| 闭环线性度 | 0.5%F.S. |
| 闭环重复定位精度 | 0.4%F.S. |
| 空载谐振频率 | X150Hz/Y130Hz/Z90Hz |
| 承载能力 | 0.3kg |
| 静电容量 | 7.2μF/ 轴 |
| 材质 | 钢、铝 |
配套控制器
