真空版本XYZ65N81K26是一款采用压电螺钉驱动的XYZ三维运动平台，可实现毫米级大行程位置调整，行程可达25.4mm/轴，同时可实现纳米级位移增量，广泛应用于精密定位及半导体测试等领域。同时适用于真空应用环境要求，真空度可达10^-5Pa。

平台采用真空版本压电螺钉驱动，全行程内具有超过20nm的分辨率，额定负载30N，设计结构紧凑，具有出色的长期稳定性且能在断电情况下继续保持在设定位置。

特点

• XYZ向运动

• 行程可达25.4mm/轴

• 分辨率达0.5μm

• 真空度打10^-5Pa

• 可定制闭环版本

应用

• 平版印刷

• 纳米压印/纳米计量学

• 半导体技术/半导体测试

• 在强磁场和真空中运动

1~3维运动平台

该系列真空版本运动平台，可实现X、XY、XYZ等多轴运动，均可实现25.4mm的精密位移调整。

技术参数

型号：XYZ65N81K26

运动自由度：XYZ

行程范围：25.4mm/轴

最小位移增量：<30nm

分辨率：0.5μm

中心负载：50N

轴承：滚珠

材料：铝

工作温度：10~40℃

端口：4-Pin

出线长：2m

推荐控制器

该系列平台可由驱动器E53.C4K通过USB接口进行4轴开环控制。