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真空三维XYZ压电螺钉运动平台

真空版本XYZ65N81K26是一款采用压电螺钉驱动的XYZ三维运动平台,可实现毫米级大行程位置调整,行程可达25.4mm/轴,同时可实现纳米级位移增量,广泛应用于精密定位及半导体测试等领域。同时适用于真空应用环境要求,真空度可达10^-5Pa。

 

平台采用真空版本压电螺钉驱动,全行程内具有超过20nm的分辨率,额定负载30N,设计结构紧凑,具有出色的长期稳定性且能在断电情况下继续保持在设定位置。

 

特点

• XYZ向运动

• 行程可达25.4mm/轴

• 分辨率达0.5μm

真空度打10^-5Pa

• 可定制闭环版本

应用

• 平版印刷

• 纳米压印/纳米计量学

• 半导体技术/半导体测试

• 在强磁场和真空中运动

1~3维运动平台

该系列真空版本运动平台可实现X、XY、XYZ等多轴运动,均可实现25.4mm的精密位移调整

 

技术参数

型号XYZ65N81K26

运动自由度XYZ

行程范围25.4mm/轴

最小位移增量<30nm

分辨率0.5μm

中心负载50N

轴承滚珠

材料

工作温度10~40℃

端口4-Pin

出线长2m

推荐控制器

该系列平台可由驱动器E53.C4K通过USB接口进行4轴开环控制。

 

 

 


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