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压电移相器在菲索干涉仪中起到什么作用呢?
   压电移相器是专为光学检测移相应用而设计的,中心通孔直径为65mm,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴50μm的位移行程,负载可达2kg,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,非常适于镜头的光学检测等应用。
  菲索干涉仪作为工业上应用广泛的表面轮廓检测技术之一,它有很多优点,如更高的测试灵敏度和准确度、非接触式不会对被测件造成表面损伤、大量程范围、抗干扰能力强、操作方便,因此在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域得到广泛应用。
  在被测面前有参考面,两面间距非常近,以保证这两个平面反射的光线具有相干性。作为参考的反光块的上表面与下表面间很小的夹角,是用于保证上表面的反光不参与干涉条纹的形成。参考面与待测面的反光发生干涉后产生干涉条纹,由成像系统来接收。分析条纹的形状就能确定待测面的表面情况是否有缺陷。
  在菲索干涉仪中,移相误差的存在会极大地影响测量结果的准确性,为了保证移相步进的精度,一般选用压电移相器(PZT移相器)。
  可创建一种单色点光源菲索干涉仪的移相结构,由PZT压电移相器进行移相步进调整,成像系统进行成像,同时在毛玻璃屏上可观察干涉条纹情况。毛玻璃上方的透镜加入前可调节光斑的重合,加入后可观察干涉条纹情况,便于初始化设置。
  压电移相器的作用是用于调节参考面的步进移动,以便于采集多幅干涉图像。在初始化调节设置好后,开始测量。压电移相器控制器发送电压给移相器,使之按照指定的步数及步进距离移动,当移相器到达某既定位置时,会对图像进行一次采集,并存储满足移相算法要求的若干幅干涉图,然后再由计算机根据采集到的干涉图像进行计算及面形求解。
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