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三维压电扫描台用于显微镜探针校准

显微镜中的探针校准通常需要一个中心通孔(用于光线通过)。 P15系列三维压电扫描台具有66×66mm的自由中心孔,非常适合透射光等此类相关应用。运动行程为300μm/轴,具有高的直线度,平台内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构,使其具有更高的刚度和直线度。可选择集成的闭环反馈传感器保证纳米精度的长期高精度样品调整。

P15系列压电扫描台还可以轻松与其他机械定位系统结合使用。它们适合从光学研究到OEM系统的各种应用。

特点

XYZ三维直线运动

•通孔尺寸66×66mm

设计紧凑

固态铰链确保高可靠性

纳米级/亚纳米级高分辨率

•行程范围300μm/轴

•可选配闭环传感器

阶跃时间

闭环上升曲线,满行程阶跃时间60ms

技术参数

型号P15.XYZ300

运动自由度XYZ

行程范围(0~120V)240μm/轴

行程范围(0~150V)300μm/轴

闭环传感器SGS

通孔尺寸66×66mm

闭/开环分辨率13/6 nm

闭环线性度0.2%F.S.

闭环重复定位精度0.1%F.S.

俯仰/偏航/滚动<30μrad

推/拉力50/10N

运动方向刚度0.1N/μm

空载谐振频率X/Y/Z):450/550/120Hz

闭/开环空载阶跃时间60/10ms

承载能力0.5kg

静电容量10.8μF/轴

材质

重量900g

线长:1.5m

 

应用案例:

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