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高精度压电旋转台用于电子器件无损检测

现如今,半导体器件、印刷电路板等电子器件在很多领域都得到广泛应用,这些电子器件的性能直接影响整个系统的性能,它们的可靠性起到了很重要的作用。随着电路板上元器件密度的日益增大,器件间的连接点只有微米级,常规的检测手段受到了极大的限制,因为需要精度更高的测试方法。

光学微扫描显微成像系统以其检测速度快、精度高等特点受到广泛关注。其原理是在系统中加入高精度压电旋转平台,使显微热像在四个依次相差90°的倾斜角条件下采集采样图像,形成微扫描模式,显微成像处理系统通过与获取微扫描图像相同的方式交叉融合形成采样图像。

其中高精度压电旋转平台以其旋转角度大、精度高、响应速度快等特点,成为该系统中的核心器件。

芯明天P21为一维θz 压电旋转台,产品体积小巧,最大旋转角度7.5mrad,承载能力达0.1kg,可带动镜片做精密旋转运动。

P21一维旋转台采用机构放大设计原理,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

技术参数

型号P21.R7

运动自由度θz

旋转角度(0~120V)6mrad(≈1240

旋转角度(0~150V)7.5mrad(≈1500

闭环传感器SGS

闭/ 开环分辨率0.4/0.2μrad

闭环线性度0.5%F.S.

闭环重复定位精度0.2%F.S.

推/拉力10/5N

运动方向刚度1 N/μm

空载谐振频率1.1kHz

闭/开环空载阶跃时间30/1.5ms

承载能力0.1kg

静电容量1.8μF

材质

重量105g

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